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【干货】多线切割工艺对研磨去除量的影响:鸭脖娱乐官方网站

发布时间:2021-05-07    来源:鸭脖娱乐14996

本文摘要:在晶体生产过程中,伴随着硅单晶规格的减少,多线切割技术性因此以被广泛运用于晶体切割成工序。

在晶体生产过程中,伴随着硅单晶规格的减少,多线切割技术性因此以被广泛运用于晶体切割成工序。线割会大大提高涨缩,可是切割成时硅的耗损显著扩大,另外受损深层扩大。这更进一步系统对到此前加工工艺,扩大了顆粒造成、分裂受损引起的晶格常数组成、单晶硅片裂缝等概率[5]。

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硅切片的受损层深层必需不会受到晶体切割成加工工艺危害,并危害着此前的芯片碾磨工序的去除量。除此之外,切片的几何图形主要参数[如弯折度(TTV)、涨缩度(Warp)和平面度(Bow)]也间接性危害着碾磨工序的去除量。因而,文中从降低切片受损层深层、操控切片几何图形主要参数精密度双方遭遇多线切割加工工艺进行科学研究。  1、实验  1.1试品  直徑:15毫米0.2毫米;长短:260Mm11mm;导电性种类:P型;电阻:8~13cm。

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  1.2生产流程  经断首尾、单晶体卷圆工序后,得到 符合多线切割机械加工回绝的硅单晶,经定项粘合、多线切割、开胶、消除等加工工艺全过程获得薄厚为780M50m的硅角磨片,对硅角磨片的主要参数进行检测,根据倒圆角、磨光片等工序进行检测。  1.。


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